手動位移平臺技術匯總
微位移技術在精密測試中具有非常重要的作用。本文介紹了一種基于應變方式進行二維微/
納米級位移測量的二維微位移平臺測量系統, 它能夠應用到多種精密測試的場合中, 結構簡潔, 操作方便, 具有體積小、集成度高、精確度高的優點。在后續的研究中, 我們將對其進一步改進, 使其成為更經濟實用的二維微位移測量裝置。
手動位移平臺實驗驗證
采用高精度的標定裝置對二維微位移平臺測量系統進行實驗。對x、y
方向分別進行全量程測量,通過上位機可以看到實驗的結果。實驗表明, 采樣數據穩定性好, adc 的實際有效分辨率可高達16位, 完全滿足分辨率為1/ 5 000
fs~ 1/ 10 000 fs 的要求。
手動位移平臺參數設置
可選擇的參數有濾波器型號、時鐘aclk、抽樣值、模擬開關延時、拋棄采樣周期數、放大倍數、以及是否用緩沖等。這些設
置主要通過控制寄存器a dmu x、aclk、adcon0 ~adcon 2 進行。其中, adc 的參數的選擇問題將會直接影響它的分辨率,
用戶可根據實際的需要選擇adc 的初始化信息, 直到滿意為止。通過上位機與處理電路進行通訊,
可對處理電路輸出的數字信號進行實時的采樣和處理。